真空蒸镀,简称蒸镀,是指在真空条件下,采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化,粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术,具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能等优点。
真空蒸镀的流程工艺
1、 脱脂处理 用丙酮或酒精进行清洗
2、 表面处理(必要时) 电晕(corona)放电处理,紫外线照射处理等。
3、 底面涂布/硬化处理(必要时)
为了得到精美的蒸镀膜,有时必须进行底面涂布处理。进行底面涂布处理可以得到以下的效果:
(1)、改善树脂与蒸镀膜之间的密接性
(2)、将成型品表面的微小凹凸部分填平,以获得如镜面一样的表面
无论是为了得到反射镜作用而实施真空蒸镀,还是对密接性较低的夺钢进行真空蒸镀时,都必须进行底面涂布处理。底面涂布工艺基本与涂布工艺相似。如一般的涂料一样,可以使用喷枪进行喷涂。
4、 真空蒸镀工艺 蒸镀金属为铝、金等。
5、 表面涂布/硬化处理(必要时)
由真空蒸镀所产生的金属薄膜相当的薄,为了利用外界的化学、物理等性能,以达到保护蒸镀膜的目的,有时需要实施表面涂布处理(或过量涂布)。