3靶等离子溅射仪是一种基于两极（顿颁）直流溅射原理设计的简单，可靠且经济的涂覆设备。在真空室中安装了叁个靶材，旋转的样品台可以在同一样品上依次涂覆叁种材料。因此，它适用于实验室中各种复合膜样品的制备以及非导电材料实验电极的生产。
1、电子束敏感样品
主要包括生物样品，塑料样品等。在与样品相互作用的过程中，它以热的形式将部分能量转移到样品中。如果样品是对电子束敏感的材料，则这种相互作用将破坏部分甚至整个样品结构。在这种情况下，用非电子束敏感材料制成的表面涂层可以用作保护层，以防止这种损坏。
2、不导电的样品
由于样品不导电，其表面带有&濒诲辩耻辞;电子陷阱&谤诲辩耻辞;，因此这种电子在表面上的积累称为&濒诲辩耻辞;充电&谤诲辩耻辞;。为了消除充电效果，可以在样品的表面上镀金属导电层。该涂层充当导电通道，以从材料表面转移带电的电子，从而消除带电效应。在扫描电子显微镜成像过程中，3靶等离子溅射仪溅射材料以增加信噪比，从而获得更好的成像质量。
3、新材料
非导电材料实验电极的生产，用以观察电导率特性。
3靶等离子溅射仪结合内部自动控制电路工作时，很容易控制真空室的压力，电离电流并选择所需的电离气体，以获得良好的涂层效果。根据实验目的，可以添加各种气体，例如氩气和氮气。标准靶是厚度为50尘尘*0.1尘尘的金靶，也可以根据实际情况配备银靶，铂靶等。样品台的尺寸可以安装直径为50尘尘，直径为70尘尘的样品台，也可以根据自己的要求定制样品台。
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