麻花传媒沈芯语老师家访

OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通过CE认证的双温区管式炉CVD系统，其管径为80mm，采用双旋片机械泵，供气系统为三路浮子供气系统，可以混合1-3种气体，其真空度可达到 10-2 torr.

OTF-1200X-S50-2F迷你型颁痴顿管式炉，是一款通过CE认证的可开启式管式炉，能使样品加热到1200℃。左法兰上安装一个数字式真空显示计，右法兰上安装有一KF-25接口，可以与机械泵相连接（抽速为226L/m）。同时左法兰上安装有φ6.35的卡套接头，使得炉体可与两路混气系统相连接。精确的控温系统提供30段升温和降温程序，其控温精确度为+/- 1 °C 。

OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通过CE认证的单温区管式炉CVD系统，其管径为80mm，采用机械泵，供气系统为三路浮子供气系统，其真空度可达到 10-2 torr.

GSL-1700X-F3LV是一款CE认证的管式炉CVD系统，其真空泵采用双旋片式，混气系统采用三路浮子供气系统，Z高温度可以达到1700°C，真空度可达到5x10-2 torr ，可以混合1-3种气体。

OTF-1200X-50-PE-S是一款小型的PE-CVD（等离子体气相沉积）管式炉系统。此套设备带有500W的等离子射频电源，一个炉管直径为50mm的开启式管式炉（带有真空法兰和连接管道）和一个直联式双旋机械泵。因此这套设备模型可以更新为不同的PECVD 系统。对于有限的经费的情况下来进行材料探索，此套系统极为理想。

OTF-1500X-80-III-4CV-PE是一款三温区1500℃的PE颁痴顿管式炉系统，它是由500W的射频电源，1500℃三温区管式炉、多通道质子混气系统和真空系统组成。此款PECVD系统对于生长纳米线、石墨烯或SiC薄膜是一个新的实验帮手。