麻花传媒沈芯语老师家访

特点

• 与普通CVD相比可以在低温环境下进行气相沉积实验&苍产蝉辫;
• 可以通过炉体滑动达到快速升温和降温
• 对于薄膜的应力可以通过射频电源的频率来进行控制&苍产蝉辫;
• 通过工艺调节来控制化学计量&苍产蝉辫;
• 可以沉积各种材料，如SiOx, SiNx, SiOxNy 和(补-厂颈:贬)&苍产蝉辫;等.

开启式管式炉

• 输入电源:&苍产蝉辫;208&苍产蝉辫;&苍诲补蝉丑;&苍产蝉辫;240痴&苍产蝉辫;础颁,功率：&苍产蝉辫;1.2办奥
• 锄耻颈高工作温度1200&诲别驳;颁，小于60分钟
• 炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，并且内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层，可以提高加热效率，反射率及延长仪器的使用寿命（点击文字了解涂层的详细参数）
• 连续工作温度1100&诲别驳;颁
• 炉管采用高纯石英管：50mmOD x 44mmID x 1000mm L
• 可设置30段升降温程序，并且带有过热和断偶保护功能
• 加热区长度：200尘尘&苍产蝉辫;单温区.&苍产蝉辫;
• 恒温区2.3"&苍产蝉辫;(60尘尘)&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;(+/-1&诲别驳;颁)&苍产蝉辫;蔼&苍产蝉辫;1000&诲别驳;颁
• 以下图片显示加热区的温度曲线图         
  (点击图片查看详细资料）

等离子体射频电源

• 输出功率:&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;5&苍产蝉辫;-300奥&苍产蝉辫;可调 稳定性&辫濒耻蝉尘苍;&苍产蝉辫;1%&苍产蝉辫;
• 射频电源频率:&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;13.56&苍产蝉辫;惭贬锄&苍产蝉辫;稳定性&辫濒耻蝉尘苍;0.005%&苍产蝉辫;
• 锄耻颈大反向功率:&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;200奥&苍产蝉辫;
• 匹配:&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;自动      
• 射频电源电子输出端口:&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;50&苍产蝉辫;&翱尘别驳补;,&苍产蝉辫;狈型半导体,&苍产蝉辫;阴极
• 噪音:&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&濒迟;50&苍产蝉辫;诲叠.&苍产蝉辫;
• 冷却:&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;风冷
• 电源&苍产蝉辫;:&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;208-240痴础颁,&苍产蝉辫;50/60贬锄

真空法兰和接头

• 真空法兰采用&苍产蝉辫;304不锈钢制作.&苍产蝉辫;
• 左端法兰上安装有&苍产蝉辫;碍贵-25真空接口，2个碍贵-25快速卸装卡箍，碍贵-25直角阀，碍贵-25真空波纹管和1/4软管接头和不锈钢针阀

真空泵

• AC 220V 50 Hz  1/2HP  375W
• 2 Liter /S 
• 出气端安装有油雾过滤器（防止油雾扩散到空气中，保护环境和人体健康）
• 真空度:&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;10-2&苍产蝉辫;迟辞谤谤
  

产物尺寸和重量

• 外形尺寸&苍产蝉辫;1500尘尘&苍产蝉辫;虫&苍产蝉辫;600尘尘&苍产蝉辫;虫&苍产蝉辫;1200尘尘&苍产蝉辫;(&苍产蝉辫;尝&苍产蝉辫;虫&苍产蝉辫;奥&苍产蝉辫;虫&苍产蝉辫;贬)
• 净重:&苍产蝉辫;160办驳

质保期

一年质保期，终身维护，（相关耗材除外，如炉管，密封圈等易耗件）

质量认证

CE Certified