小型等离子清洗机集成了RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术，采用气体作为清洗介质，有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵，清洗腔内的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面，可短时间内*清洗掉有机污染物，清洗程度可达到分子级。另外，其样品台可选配加热功能，可加负偏压，用以实现离子蚀刻。此外，其可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。
&苍产蝉辫;技术参数
主要特点 | - 采用气体作为清洗介质，避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。
- 可短时间内*清洗掉有机污染物。
- 清洗程度可达到分子级。
- 可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。
- 清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性，并可消毒和杀菌。
- 样品台可选配加热功能，可加负偏压，用以实现离子蚀刻。
- 广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。
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参数 | - 电压：AC220V 10A
- 消耗功率：<500W（包括真空泵）
- RF电源：输出功率100W，输出频率13.56MHz
- 腔体：&笔丑颈;190mm×98mm
 - 石英管：&笔丑颈;180mm×55mm，壁厚7mm
- 内腔：&笔丑颈;165mm×55mm
- 清洗电极：&笔丑颈;120mm
- 样品台：&笔丑颈;150mm，有效尺寸&笔丑颈;140mm
- 样品台与电极间距：15mm-50mm可调
- 抽气管：&笔丑颈;12mm
- 极限真空度：0.1Pa
- 工作真空度：60Pa-500Pa
- 气路数量：2路（选装）
- 流量控制器数量：1、2
- 流量显示仪：2通道
- 气路接口：&笔丑颈;6mm
- 加热样品台：&笔丑颈;140mm，加热样品温度RT-600℃&辫濒耻蝉尘苍;1℃（选装）
- 冷却水压力：0.2KPa-0.4KPa
- 工作环境：温度5℃-35℃，湿度<80%（相对湿度）不结露，海拔高度0-2000m
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产物规格 | - 尺寸：245mm×235mm×460mm（不含真空泵）
- 重量：20kg（不含真空泵）
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可选配置 | - 加热样品台
- 流量控制器（量程10、50、100，锄耻颈多可增加2个通道）
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