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简要描述: OTF1100X11Z3LV CVD system consists of 11" diameter three zone tube furnace with mechanical vacuum pump system (up to 10-2 torr ) and 6 channel precision digital Mass flow-meters, which can control nine types of gases for CVD or diffusion
产物分类
详细介绍
我公司供应的产物符合国家有关环保法律法规的规定(含采购商滨厂翱14000环境体系要求),不会造成环境污染;
该产物符合采购商OHSMS18000职业安全健康管理体系标准的要求,不会对接触产物的人员健康造成损害!
主要特点: 采用电阻丝加热;30段程序控温;3个独立温区,可通气氛抽真空
设备的控制系统,具有安全可靠、操作简单、控温精度高(专家笔滨顿控制)、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、可通气氛抽真空等特点。
技术参数:
功率: 8 Kw
电源:AC220V , 50/60 Hz (使用时需配 50A空气开关)
加热元件:掺钼铁铬铝合金
zui高温度: 1100 oC
长期使用温度: 1000 oC
zui快升温速率: ≤ 10 oC /min
炉管尺寸及材质: 石英管;外径279 x内径269 x长度1524mm
加热区长度:三个温区分别是300 mm + 300 mm + 300mm
温区总长: 900 mm
恒温区长度: 500 mm ( 在恒温区内温度误差 ± 1oC)
温度控制器:
叁块30段高精度温度控制器,可分别单独控制每个温区
自动PID调节功能,可使温度控制精度保持在± 1oC
设有自动超温及断偶报警功能。
请点击此处下载 使用操作说明书
热电偶类型: 3只K型热电偶分别安装于每个温区
真空密封法兰:
可直接连接笔痴软管
采用双硅胶O型圈密封可耐温 300oC
配有氧化铝绝热堵头有效的阻止热辐射起到保护法兰的目的
真空系统:
采用双旋叶机械泵于分子泵相结合,zui高真空度可达 10-3.帕
1台分子泵
配有一只电阻规于电离规作为检测元件&苍产蝉辫;
波纹管连接
可选配数字真空计(美国进口)
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