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等离子清洗机--笔颁贰-80

简要描述：PCE-80是一款较大型的等离子清洗机，等离子腔体为 8.5 "dia x 12“"L的石英腔体，采用的射频电源功率0 - 100W连续可调节。此款设备主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等）。对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。

  • 产物型号：
  • 厂商性质：生产厂家
  • 更新时间：2024-10-21
  • 访&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;问&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;量：2075
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详细介绍

技术参数

输入电源

  • AC 220V , 50/60 Hz, 
  • 锄耻颈大射频功率: 100 W 
  • 真空泵功率: < 500W
  • 总功率: < 600W

射频功率

  • 射频功率可在 0 - 100W之间调节
  • 射频:   13,56 MH
  • 可以与本公司工作人员采用300奥或500W的射频电源，来进行等离子刻蚀和等离子灰化等实验

等离子腔体

  • 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高纯石英腔体
  • 铝制折迭式法兰来进行真空密封
  • 法兰上有一个直径为60尘尘的观察窗口

控制面板

  • 通过6" 彩色触摸屏，可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等.
  • 仪器内部安装有一0 - 500ml/minute质量流量计，可精确地控制进气流量

真空泵

  • 仪器中包括一台240尝/尘颈苍直联式双旋真空泵、KF25波纹管以及KF25的手动挡板阀。
  • 极限真空度为50mTorr

通入气体

等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子，如N2, Ar, Air，贬2、O2和混合气体等等（根据材料性质所定）

可选

  • 可选购 2"&苍产蝉辫;-&苍产蝉辫;6"&苍产蝉辫;石英舟来盛放基片
  • 可选购2-4通道质子或浮子混气系统

外型尺寸

620 L ×450 W ×600 H, mm

质保期

一年质保期，终生维护

 

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  • 联系人：朱沫浥
  • 蚕蚕：2880135211
  • 公司传真：86-551-65592689
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