GSL-1100X-15E是一款小型真空镀膜仪,特别适合蒸镀一些轻金属,如 Al. Mg, 和Li等。同时也可对样品进行镀碳处理,Z大可处理的样品直径为50mm.。
GSL-1800X-ZF4是一款高真空的蒸发镀膜仪,特别适合蒸镀一些对氧较敏感的金属膜,如Ti, Al 和Au等,也可蒸镀各种氧化物材料。此款蒸镀仪安装有4个蒸镀加热头.对于实验研究,这是一款镀膜效果理想并且性价比较高的实验设备。
OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸发管式炉,专门针对于用PVD或CSS法来制作薄膜。此款管式炉炉管直径为11" OD,炉管内载样盘可放置3" 的圆形或2"x2"的方形基片。加热元件为两组红外灯管,分别安装在腔体的顶端和底部,其升温速率高达20?C/S 。温控系统为PID30段程序化控制,控温精度为+/-1?C。仪器面板上带有RS485接口,若仪表内配有控温软件,就可将升温程序和曲线导出
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